تولید سامانه‌ها و تجهیزات آزمایشگاه‌های میکروالکترونیک توسط محققان ایرانی

تهران - ایرنا - متخصصان یک شرکت دانش‌بنیان موفق به طراحی و ساخت سامانه تمیزکننده پلاسمایی، سامانه رشد نانولوله‌های کربنی و سامانه زدایش عمیق سیلیکون با استفاده از یون‌های واکنشگر شدند.